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12月20日，荷兰光刻龙头ASML计划在未来几个月内推出制造2nm芯片的光刻机，并计划在2024年生产10台。最新设备的光能力将从0.33提高到0.55（High-NA），使晶圆制造商能够采用超精细的微影技术来制造2nm芯片。ASML计划在未来几年将产能提高到每年20台。 据报道，英特尔已采购了其中的6台，预计每台售价超过3亿美元。这款新一代机器被认为是High-NAEXE:5200（0.55NA），而英特尔是全球第1个下单的客户。High-NA技术是2nm以下逻辑晶圆制造的关键。 ASML预