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从夫琅和费光子美容微系统研究室(FraunhoferInstituteforPhotonicMicrosystems)拆分出去的一家企业AriosoSystemsGmbH,正准备将一种100%硅做成的小型扬声器产品化。在取得成功的種子资金以后,AriosoSystemsGmbH如今提前准备将这项技术走向市场。 根据微机电工程系统(MEMS)的微扬声器技术性早已发展趋势了好多年。它根据Fraunhofer说白了的纳米技术静电控制器,在硅集成ic的行为主体中置入了一排20μm宽的弯折带。这种吕板中
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